Напрями науково-дослідних робіт:
- Виконання наукових досліджень та практичних розробок, пов’язаних зі створенням спеціалізованих сенсорів механічних, теплових величин, працездатних в складних умовах експлуатації (сильні магнітні поля, наднизькі температури);
- Дослідження технологічних особливостей створення мікро- та наноструктур на основі кремнію та інших напівпровідникових матеріалів для приладів мікро- та наносистемної техніки.